二手 KOKUSAI VR-70 #9095916 待售

KOKUSAI VR-70是利用先进成像和光谱能力的晶圆测试和计量设备。它采用高通量、超高分辨率多角度光栅光谱仪，测量厚度、折射率、表面粗糙度、光学性能、薄膜应力等工艺参数。该系统还提供高精度的非接触式光学显微镜，用于检查晶圆上的缺陷或颗粒污染。为了测试薄膜厚度，VR-70采用了独特的基板级，具有高度精确的XYZ电动级，能够快速、准确和精确地定位晶片。该单元还具有先进的自动扫描功能，用于晶圆表面与光谱仪光束和宽范围扫描区域的自动对准。自动扫描功能能够从300mm-500mm晶圆进行扫描,x方向扫描范围可达5,000mm。此外，KOKUSAI VR-70晶片测试计量机采用高质量的光学器件设计，具有优异的光谱分辨率、优异的信噪比和优异的UV-VIS-NIR光学性能。该工具还有一个独特的软件包，可用于计算折射率、薄膜厚度和光学性质等层参数。这个软件包还有一套预先校准的算法，以节省时间并确保可重复性。总体而言，VR-70是一种先进的晶圆测试和计量资产，能够快速准确地表征各种晶圆特性。它是晶圆测试和计量的可靠、经济高效的解决方桉。它能够提供关于各种晶圆基板和工艺特性的详细数据。通过提供用户友好的界面，它可以轻松操作，并帮助用户做出更明智的决策。