二手 KOSAKA LAB ET 4000 #9238800 待售
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ID: 9238800
优质的: 2018
3D Surface roughness analyzing system
Appropriate for measurement:
Micro figure
Step height
Roughness of FPD
Wafers
Hard disks
Other nano-order application
Sample size: 210 mm × 210 mm to 300 mm × 400 mm (Maximum)
Repeatability: 1 σ within 0.5 nm
Measuring range:
Z: 100 μm
X: 100 mm
Measuring force: 0.5 μN to 500 μN
2018 vintage.
KOSAKA LAB ET 4000是一种高精度晶圆测试和计量设备,能够测量各种参数,具有高精度和重复性。利用其先进的扫描技术,它可以准确测量关键尺寸、各种拓扑特征以及微元件上的其他关键尺寸。ET 4000独特的专利设计是基于光学和X射线显微镜的组合,包括一个自动转台系统。此单元允许晶片自动移动,以测量可能存在的全部特征。此外,它能够测量各种几何特征,如步高、线宽和各种曲面特征,使其成为复杂晶圆测量的理想工具。KOSAKA LAB ET 4000以严密核心控制和优化的机器实现高精度测量。该工具除了具有伺服电机控制的舞台运动的精确运动资产外,还包括顶级计量软件包。舞台运动最大限度地提高了准确性和可重复性,同时最大限度地减少了摩擦和容易出错的平移。除了软件和运动模型外,ET 4000还包括一个集成且高度精确的光学图像分析设备。该光学系统可快速准确地测量关键尺寸和其他关键特征。它执行基于各种晶圆尺寸的自动校准,使单元达到更高的精度和重复性。最后,KOSAKA LAB ET 4000还包括用于测量拓扑信息的高精度数字图像分析机。此工具可快速分析曲面特征、3D数据和其他3D-related参数。此资产包括高分辨率数据采集和视场控制,能够准确测量复杂的特征和曲面特征,并快速为工程师提供所需的结果。ET 4000是晶圆测试和计量的理想工具。利用其精确的运动、图像分析和数字图像分析,在短时间内对各种晶圆特征进行精确、可重复的测量。其广泛的功能集使KOSAKA LAB ET 4000成为工程专业人员的宝贵工具,他们需要快速评估复杂的微元件结构。
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