二手 KYOWA PCD-300B #9259529 待售
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KYOWA PCD-300B是一种多功能晶圆测试和计量设备,提供最大程度的准确性、灵活性、吞吐量和性能。它具有专用的高分辨率光学显微镜和自动对焦系统,可快速检查晶片,可重复精度为1 μ米或更高。PCD-300B为各种晶圆测试仪提供高达500 μ米的基板探测。此外,它还具有强大的视觉单元,可以检测一般缺陷和细微缺陷。KYOWA PCD-300B配备了先进的晶圆操控机,可以处理面积最大300 mm x 300 mm的相当大的柔性基板。其快速、精确的运动使晶片能够高效加载、抓握和定位。该工具还支持广泛的晶圆载体,如盒式磁带、FOUP和MAP。PCD-300B提供了一个强大的计量资产,旨在精确测量薄晶圆。它配备了激光干涉显微镜,允许模型测量平面,绝对精度97.5nm。它还能够测量前向和后向浅沟隔离结构。该设备还配备了干涉仪,以纳米精度精确测量晶圆上的土地和沟槽形状。此外,KYOWA PCD-300B提供了一个广泛的测量配方库,工程师可以快速地将其集成到他们的过程中。经过工艺优化的配方通过减少测试和计量所需的总时间,确保精确测量复杂的晶圆特性。这些配方与领先的fab软件包兼容,并且可以通过LAN连接快速轻松地进行部署。总之,PCD-300B是一个先进、通用的晶圆测试和计量系统,旨在提供最高水平的准确性、灵活性和性能。它配备了强大的计量单元、专用的光学显微镜以及能够处理多种基材的晶圆操纵机。此外,该工具还设计了一个预定义的流程优化配方库,并与领先的fab软件包兼容。
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