二手 LAKESHORE 7507 #9410569 待售
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LAKESHORE 7507是一种晶圆测试和计量设备，使用集成的传感器、传感器和电子设备来精确测量和控制半导体晶圆的测试。该系统对尺寸不超过6英寸的晶片进行环境控制测试。该装置具有光学系统和两个集成的位置感应检测器（PSD）,可实现晶片的自动对准和配准。这样可以确保晶片对晶片的准确性和可重复性。光学系统还提供激光微米检查复杂表面轮廓的能力。该机配备了可以测量和控制XYZ位移的运动控制系统。这允许自动晶圆传输、映射和索引,以及晶圆到晶圆和过程到过程的可重复性。7507提供热电加热器和温度传感器的温度控制功能,以确保过程的准确性和稳定性。这种温度控制和测试环境的控制对于确保测量结果的准确性至关重要。该工具还配备了偏置电源、放大器和A/D转换器，以便能够进行晶圆厚度测量、平整度测量和检测结构缺陷或特征。内部数据存储和VME总线接口使数据传输和与其他系统集成具有灵活性。LAKESHORE 7507是晶圆测试和计量的可靠、准确和通用的资产。利用一套集成的硬件和软件技术,该模型能够同时测试多个参数,确保测量可重复进行,并可用于过程开发和生产。
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