二手 LASERTECH BI100 #9399314 待售
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ID: 9399314
优质的: 2017
Reticle back side inspection system
CIM: SECS
SMIF
OHT Delivery reticle pod handler
2017 vintage.
LASERTECH BI100是一种晶圆测试和计量设备,用于轻松、精确地处理各种晶圆。该系统采用了五种计量工具,这些工具是为各种样本分析量身定制的。该单元可以完成临界尺寸(CD)测试、线宽测量、迭加配准、表面粗糙度评估以及许多其他晶圆测量。该机采用高品质的部件,保证了准确可靠的性能。LASERTECH先进的共聚焦技术允许该工具达到高达0.5 nm的分辨率,测试的可重复性为1 nm。考虑到当今大多数晶片的纳米尺寸,这种精度水平是必不可少的。该资产还具有一个自适应遮蔽特征,该特征解释了不同的晶圆几何形状,使其在不同的芯片设计中保持准确。该模型能够在单个设备中每小时处理多达300个晶圆样品,每次在线处理多达2个样品,每批处理多达8个样品,因此非常适合高通量环境。此外,该系统具有很高的可扩展性,可以通过添加额外的计量工具,轻松调整以扩展每小时的工作负载能力。LASERTECH开发的软件直观易学,使用户可以快速、准确地快速设置和分析样本。界面对用户友好,允许为重复性任务创建宏。此外,软件还预装了数十个预先配置的过程,以帮助简化分析过程。BI100是晶圆测试和计量的顶级设备。它达到的最大分辨率和直观的软件使得它非常适合现代先进的晶圆测量。该机器功能强大,易于扩展,为各领域的用户提供了巨大的价值。
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