二手 LEHIGHTON 1500-RS #293663340 待售

ID: 293663340
Non-contact measurement system.
LEHIGHTON 1500-RS是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在提供对薄膜、基板和其他半导体材料的准确和可靠的测量。该系统能够高精度地测量厚度、表面粗糙度、反射率和其他电性能。1500-RS采用最先进的激光干涉测量技术,是测量薄膜和基板到亚微米分辨率的强大工具。LEHIGHTON 1500-RS使用非接触式光学计量单元,这意味着测试不需要晶圆/材料与探针之间的接口。这样就不需要在晶圆和探针之间形成密封,这对于常规的接触计量是至关重要的。因此,这台机器可以在各种条件下测量薄膜和基板,例如在旋转基板上或在存在无法控制的污染物的情况下。该工具还与广泛的底物材料兼容,包括多晶硅、氮化硅、多晶氧化物、移植物、砷化氙和III-V化合物。此外,1500-RS能够测量低至0.1nm的薄膜厚度,使其适用于测量亚微米薄膜和表面。该资产还进行了优化,以测试高反射率的非金属表面以及重纹理和图案化材料。LEHIGHTON 1500-RS型号由超快速控制设备提供动力,能够以速度和精度测量各种参数。它还具有直观的用户界面,使设置和编程复杂的测量序列变得容易。集成分析软件使得快速分析和解释结果成为可能,这些结果可以可视化为图形、直方图和其他数据表示形式。1500-RS是一个功能强大、可靠的晶圆测试和计量系统,适用于评估半导体器件薄基板质量、测量表面粗糙度、评估电子薄膜成分等多种应用。此单元保证提供卓越的性能和准确性,能够快速、精确地测试薄膜和表面。
还没有评论