二手 MDC Duo Chuck #9171324 待售

MDC Duo Chuck是一种晶圆测试和计量设备，设计用于对多个参数同时进行高精度测量，包括厚度、平坦度、弓形、螺距、位置对准等参数。该系统包括低温卡盘、支持卡盘的坚固机箱,以及在测试期间提供卡盘RPM控制和卡盘运动精确控制的控制器。低温卡盘设计用于在测试期间保持温度远低于晶片的最高工作温度,确保精确、可重复的测量。Duo Chuck由几层和组件组成。在底层是适配器板,它将卡盘组件连接到机器人处理单元。第二层是超低温微电子卡盘，内含加热的底板和温度控制机，用于精确的温度调节。第三层是提供环境隔离和对准的卡盘外壳，第四层是提供温度控制、卡盘驱动功率和卡盘定位控制的环形齿轮电机。此外，MDC Duo Chuck具有精密工装和非接触式超声波技术。精密模具的设计目的是提供高精度的测量，提高分辨率和结果的可重复性。非接触式超声波技术允许晶片在测试过程中精确精确地对准卡盘，使晶片能够来回移动（俯仰角）和上下移动（弓角），而不会对测量产生影响。Duo Chuck工具还利用先进的自清洁和校准功能来确保测量的准确性和可重复性。该资产包括一个内置的自我校准程序,它对卡盘进行定期的完整性检查,以及一个智能的自我清洁引擎,该引擎可主动监控其环境并进行深度清洁,而无需人工干预。这些特性共同使晶圆测试和计量获得最准确可靠的结果。