二手 MDC SEN-576 #9104438 待售

MDC SEN-576晶圆测试和计量设备是一个高精度的计量平台，旨在进行高级晶圆测试和计量。它将6点探针、SEM图像分析、X射线衍射分析等几种专门的计量技术结合在一个仪器中。SEN-576由一个多室系统组成,该系统的主要腔室包含一个机械手、一个扫描仪和一个舞台,另外还有三个腔室,用于安装一个电气测试机构、一个光学字符识别（OCR）单元和一个数据收集机器。主室的机械手是机械手，设计目的是进行精确和高效的样品放置，从而最大限度地减少在测试过程中对晶片样品造成的任何损害。集成到工具中的扫描仪也是机器人的，可以用来对具有精确重复性的不同晶圆区域进行成像。主室的级是X和Y方向都具有高精度和加速度能力的机动单元，可以捕获晶圆样品的精确坐标和各种测量的可重复性。集成到MDC SEN-576第二腔的电气测试资产由几个探头和电气测量仪器组成。该型号配备了6点探针，这是一种特定的接触计量工具。它可用于测量各种晶圆样品上的电气特性，如电阻、电流泄漏和介电击穿。第三室的OCR设备用于算法识别。最后，第四室拥有一个数据收集和控制系统，该系统具有数字信号处理器和特殊软件。该单元允许实时数据采集和分析,从而可以自动测试晶圆样品。综上所述，SEN-576晶片测试计量机是一种多室平台，用于测量晶片的电气特性、光学特性和形状。该平台具有机械手、扫描仪和主室舞台、6点探针、基于数字信号处理器（DSP）的数据收集工具和特殊软件、OCR资产以及其他组件。MDC SEN-576的模块化和机器人结构确保以可靠和可重复的方式对半导体晶片进行先进和准确的测试。