二手 MICROTRAC S3500 #9222240 待售

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ID: 9222240
Particle size analyzer Sample delivery system included.
MICROTRAC S3500是一种最先进的晶圆测试和计量设备,用于测量半导体晶圆的物理、电气和几何特性。该系统使用一整套表征技术,以高分辨率和精确度精确测量晶圆特征。这些技术包括3 D光学散射显微镜、电容剖析(CP)和电扫描显微镜(ESM)。该单元高度集成的软件功能使测量和分析过程自动化,减少了用户所需的工作量,最大限度地降低了成本,并最大限度地提高了质量保证。机器的用户友好的软件界面使得先进的计量和测量过程简单易行。对于光学散射显微镜,MICROTRAC S 3500具有自动图像分析功能,可快速准确地测量地形、表面粗糙度、步高、晶界和边缘曲率的轮廓。集成CP技术对晶片表面应用电压栅格模式,收集与氧化硅层厚度、晶片地形、氮化硅栅极电介质轮廓有关的电气数据。然后,这些数据有助于提供有关表面质量、均匀性、特征形状和其他关键设备参数的重要信息。ESM技术使用扫描方向测量整个表面的电导率,并获得各种缺陷和不规则性的数据。该技术还具有自动缺陷检测功能,能够高精度分析图像和检测位移。总体而言,S3500是先进晶圆测试和计量的理想解决方桉。该工具允许用户快速准确地分析和表征半导体晶片,并提供高度准确的数据,可用于优化制造过程、提高产品质量和确保设备可靠性。
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