二手 MITUTOYO SJ-210 #9245762 待售

MITUTOYO SJ-210晶片测试和计量设备旨在为半导体器件开发的所有阶段提供精确的计量测量。它可用于在加工工艺中进行蚀刻或沉积前后测量晶片，以及用于最终工艺检验和质量控制。该系统的设计工作范围的晶圆尺寸从25毫米到200毫米。它有一个非接触式视觉单元，具有多点扫描功能，以提高准确性和可重复性。SJ-210使用两轴级,能够支撑尺寸可达589mm的晶片,移动范围为X=125mm, Y=300 mm。该机具有集成的用于样品处理的高性能6轴机器人，可以同时容纳标准和定制的处理夹具。MITUTOYO SJ-210工具还具有高分辨率CCD相机和4轴手动阶段，用于定位和微调测量精度。资产附带了一套测量工具,包括数字成像、表面分析、非接触测量和模式识别。对于非接触测量，模型使用激光干涉仪进行位移、振动和加速度测量。它还包括各种用于变形测量的测量探针。SJ-210能够检测和绘制梯形、矩形、弧形、圆圈和其他形状的图样,以帮助工程师和科学家相应地测量和分析边缘或表面轮廓。此外,设备还可以测量晶片的多个特性,如整体尺寸、厚度、表面粗糙度、步长和平坦度。MITUTOYO SJ-210晶片测试和计量系统为用户提供了进行计量和工艺检查的高效、通用的工具。它的一套测量工具使工程师和科学家能够对各种晶圆尺寸进行快速和准确的测量，从而全面洞察晶圆处理。