二手 MITUTOYO SJ-301 #9287963 待售
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MITUTOYO SJ-301是一种高精度晶圆测试和计量设备,专门设计用于研发、制造和质量控制应用中的高级故障分析、过程监控和设备开发。该系统采用光学计量技术,将晶圆结构的精确测量与晶圆表面轮廓的精确测量相结合。该单元由四个主要组成部分组成:光学头单元(容纳光学元件和激光源,用于导光和成像);晶片处理阶段(包括样品平台和CCD摄像机,用于监测位置和基板方向);用于数据采集和分析的计量控制台(配备图像处理软件);以及精密级控制器。SJ-301光头单元包含一个用于引导光束的大功率激光二极管模块,该模块分为工作光束和参考光束两个部分。两束光束都通过光纤阵列成像到样品表面上,样品被放置在4倍目标透镜的焦平面上。生成的图像由测量控制台上的相机、CCD阵列和Objects镜头收集和分析,然后将其处理成扫描区域的轮廓图。机器的计量控制台由基于计算机的数据采集工具、图形用户界面和图像处理软件组成。该软件可用于增强通过改进信噪比等措施收集的信号。然后将数据传输到包含精密级控制器所有关联测量的数据库中。MITUTOYO SJ-301的精密级控制器是一种可编程的精密扫描控制器,旨在为样品平台提供连续的运动范围。控制器允许精确的晶圆定位,使用户能够调整样品相对于光学头单元的位置,以说明从资产中精确测量的情况。SJ-301提供晶圆表面地形的精确测量,用于高级故障分析和设备制造过程。该模型配有高精度成像分析单元、精密级控制器和直观的图形用户界面,操作简单方便。凭借其多用途的能力,该设备是一个功能强大的半导体和晶圆计量应用工具。
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