二手 MTI Proforma 300 #9269084 待售

MTI Proforma 300是一种领先的晶圆测试和计量设备，设计用于精确测量和检查晶圆。该系统采用300 mm模块化设计,易于升级,确保它与晶圆测试的最新发展保持同步。Proforma 300单元基于专利的非接触式机电技术（标称行程0.1 µm），用于检测表面缺陷和地形。该机器包括一个数字图像捕捉相机，扫描头，视频硬件和软件。MTI Proforma 300使用6轴级提供200 mm和200 mm高度的行进范围，以实现对任何晶圆的精确测量。Proforma 300的缺陷检测工具使用一组激光器来检测微米大小的缺陷、表面粗糙度、晶片放置的不规则性以及晶片结构中的任何其他非均匀性。通过激光和红外成像相结合，可以检测和测量从0.1µm到500 µm的各种尺寸的缺陷。集成软件存储和处理缺陷数据以进行分析和评估。MTI Proforma 300还具有高级3D映射模型。该设备提供晶圆表面的高分辨率（Z-probe）3D图形表示，允许用户快速识别潜在缺陷、结构不规则性和其他非均匀性。该系统可捕获多达80万个测量点进行详细分析。此外，Proforma 300单元具有先进的计量能力，提供线宽、临界尺寸、间距和中线偏差等晶圆参数的高精度测量。机器还支持各种测试环境中的操作,包括基准测试、清洁室和SEMI操作员控制台检查。总体而言，MTI Proforma 300为各行业提供全面的晶圆测试和计量。该工具非常适合用于发现晶片中的缺陷、结构不规则和其他不均匀现象,从而使用户能够快速识别和解决任何问题。