二手 MURAKAMI GM-26D #293616276 待售

MURAKAMI GM-26D是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆光刻的生产性测量。GM-26D具有业界领先的精确度、可重复性和分辨率,一直是各种类型的光掩模制造商、IC供应商和半导体制造商的首选系统。MURAKAMI GM-26D包含一系列高精度光学传感器，能够在纳米级进行精确测量。它可以以无与伦比的速度和精度测量临界尺寸（CD）、线缘粗糙度（LER）、图桉放置等特性。此外,它还能够自动化整个测量过程,从样品加载到数据采集和分析。该单元具有高度直观和易于使用的特点，具有用户友好的界面和直观的菜单。自动晶圆转换机能够以较快的通信速度实现有效的晶圆加载、卸载和位置控制。其全自动分析工具可以快速生成准确的结果，然后可用于优化过程参数。GM-26D也进行了优化，以测量各种非光刻参数。它具有高性能的粘合剂分配站和高强度的紫外线光源，能够测量介电膜、金属和其他晶圆材料的特性。此外，其先进的粒子检测功能扩展了晶圆表面缺陷检测的能力。所有这些功能使MURAKAMI GM-26D能够提供无与伦比的生产过程洞察力,确保所有关键测量都是准确和可重复的。因此，这一资产为半导体行业的质量保证提供了终极工具。GM-26D具有高速度和高精度，是晶圆测试和计量应用的理想选择。