二手 NANOMETRICS Atlas II+ #293636675 待售
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NANOMETRICS Atlas II+是一种晶圆测试和计量工具,利用先进的光学和电子技术来测量表面地形、氧化物厚度和电阻率等半导体晶圆性质。该系统具有检测和分析多达8英寸晶片的能力,是设备开发和先进工艺控制的需要。该系统由一个最先进的计量平台组成,其中包括一个自动x-y扫描仪、一个成像显微镜和高性能激光传感器。X-y扫描仪允许晶片在显微镜级的精确定位和测量头的精确对准。一系列成像目标使用户能够获得晶圆上不同级别的详细图像。先进的激光传感技术测量膜和薄膜厚度,以及晶圆上可能肉眼看不到的地形细节。所有测量都以微米为单位,并作为数字数据点存储。这有助于快速评估氧化物厚度、临界尺寸和电阻率等参数。Atlas II+随附的软件显示图像、数据图和计量过程控件。它还包括自动聚焦算法,以简化测量过程和最小化操作误差。该系统开辟了晶圆测试和计量的可能性世界。借助NANOMETRICS Atlas II+,设备开发人员可以快速发现问题并快速进行更正,从而减少生产时间和成本。高级过程控制功能有助于确保批量生产运行符合规范要求。
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