二手 NANOMETRICS Atlas II+ #9242231 待售
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ID: 9242231
晶圆大小: 12"
优质的: 2016
System, 12"
(3) Load ports
(3) Modules
FFU System
EFEM Drive system
Multi-stage filtration
EFEM Transmission system
Internal robot
Stage slide system
Optical system (SE/SR)
Magnetic suspension shock absorption system
Temperature control system
Data processor
Signal interface
Data interface
Power interface
Ventilation and vacuum tests
Data analysis system
Workstation
Debugging
Wafer transfer system
Loadport
PDU Power distribution system
External power supply
Manipulator and controller
Temperature control system
Internal temperature fluctuation: 0.1°
Power supply: 220 VAC
Vacuum: 650 mm Hg
Compressed air: 100 PSI
2016 vintage.
NANOMETRICS Atlas II+晶片测试和计量设备是一种精确、可靠和高效的工具，用于表征半导体工业中晶片的电气和物理特性。该系统提供了广泛的集成模块，用于执行不同类型的分析，包括物理计量、电气测试、逻辑和参数测试、电气缺陷分析和晶圆级物理计量。该单元围绕一个多轴电机驱动级构建，该级精确控制晶圆处理。这个阶段能够精确的运动控制和定位晶圆映射，缺陷定位和晶粒/表面分析。舞台也坚固稳定，让机器在各种洁净室条件下工作。此外，该工具有两个独立的光学系统，以提高分辨率和测量精度。Atlas II+灵活的检查特点包括电测试参数和温度、电压、电流、电荷、电容、电感、电阻等测量。该资产还提供了用于解释测量数据的强大分析工具，这有助于加快物理计量过程。对于高分辨率成像，模型可以使用多种光学检查模式，如明场和暗场成像、相位对比度成像、扫描电子显微镜。该设备与众多计量晶片兼容，能够根据需要修改其参数，以适应材料、加工条件或晶片特性的任何变化。此外，NANOMETRICS Atlas II+允许用户定制所需的分析，所有收集的数据都可以存储在数据库中，以便于检索和分析。因此，Atlas II+是一个功能强大和高效的计量系统，为用户提供在晶圆上进行电气、物理和逻辑测试的广泛能力。其高精度，结合灵活的测量、直观的操作和数据库能力，使其成为半导体行业不可或缺的工具。
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