二手 NANOMETRICS Atlas #9221857 待售
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已售出
ID: 9221857
晶圆大小: 6"
优质的: 2006
OCD Metrology system, 6"
ATLAS-M Analysis platform
P/N: 1000-01046 Rev B
Single ASYST load port
Tool upgraded
With particle contamination cover in 2016
Parts non-functional:
Polarizer
Torret: 4x - 15x
2006 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一种自动化晶圆测试和计量设备,主要设计用于半导体制造和研究设施。该系统能够测量各种尺寸的晶片的各种参数和特征,并具有准确性和可重复性。该单元具有高分辨率CCD检测器,可以对各种斜坡、蚀刻坑、地形、晶粒结构以及其他晶片特征进行高度精确的测量。机器的核心是Atlas Metrology Station。这是一个模块化工具,由焦平面阵列成像资产(FPA)、一对狭缝投影仪成像系统、反射率扫描仪、激光干涉仪和光学剖面仪组成。这些组件使NANOMETRICS Atlas能够以0.1纳米的极细分辨率为直径小至500微米的特征提供前所未有的精度。该模型具有易于使用的用户界面,能够在多个晶片上同时进行测量。用户可以选择要在每个晶片上进行的测量类型,其自动要求可以选择正确的参数组合进行精确测量。Atlas可以在其安全、联网的设备上存储数据和结果,并且可以在制造过程中直接与其他工具进行交互。为了进一步分析,NANOMETRICS Atlas包括用于生成各种图表和统计报告的专门软件,以及一个综合图形绘图功能。它还能够与数据分析仪或统计软件等其他网络工具集成,以进一步提高其效用。Atlas是一个功能强大的系统,旨在满足最苛刻的半导体制造和研究设施的需求。它结合了精确测量功能、网络连接和直观的用户界面,使其成为任何需要高性能计量的实验室的理想设备。
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