二手 NANOMETRICS Atlas #9244873 待售

NANOMETRICS Atlas是一种晶圆测试和计量设备，为尺寸和地形测量提供增强的吞吐量。该系统建立在非接触式的结构定位技术之上，支持各种样品形状和材料。该装置采用多种传感器技术，包括电容传感器、感应传感器和光学传感器。这些技术的组合被用于在几秒钟内以纳米（nm）精度获得精确的3D表面测量。自动化的非接触式样品处理工具可以快速设置和重复测量,从而提高了机器的精度。此资产还提供了额外的好处,例如高通量和测量结果,这些结果与实际制造过程相关,无论是干蚀刻还是湿蚀刻、阴影蒙版或光刻。先进的边缘检测算法能够检测和数字显示三维形状特征,甚至沿着曲面也能实现准确的结果。Atlas平台用途广泛,可以配置为满足各种各样的要求。它配有步进电机，用于穿越级，电动Z轴，用于晶圆/样品定位，可调节焦距，用户定义的成像参数，以及其他可定制的元件。此外,该模型还包括一个快速级横向设备,以提高样品速度.流程跟踪分析（PTA）可用于监控和优化生产流程。PTA能够在短时间内或长时间内自动测量和分析尺寸和几何测量以及图桉。此功能是过程监控和过程产量提高的宝贵资源。总体而言，NANOMETRICS Atlas是一个有效的晶圆测试和计量系统，可以帮助研究人员和制造商取得精确的结果。多传感器、自动化非接触式样品处理、快速阶梯穿越和先进的边缘检测算法的结合，使这一单元能够提供准确高效的晶圆测试体验。此外,PTA还有助于监控和优化生产过程,帮助提高晶圆的整体质量和产量。