二手 NANOMETRICS Atlas #9244874 待售
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NANOMETRICS Atlas是晶圆测试和计量的最先进的设备。随着器件几何图形的缩放，对不断提高的测量精度和可重复性的需求带来了对自动晶圆测试和计量系统的需求。Atlas是一个自动化的计量系统,它可以精确测量晶圆上的电气参数。它包括若干高性能激光器、传感器和控制系统，以及一个同时提供多种结果的数据采集单元。该机器能够测量晶片上的各种参数，如接触电阻、高度剖面、蚀刻深度、设备布线等。该工具使用基于干涉仪技术的激光振动计来测量晶片的高度轮廓。该激光器用于感应晶片的表面轮廓，并对数据进行实时采集和分析，还能够进行电阻隔离和接触电阻等多种二次计量操作。该模型还融入了自动缺陷检测，可以识别和分类开路、短路、死路等不同类型的缺陷。设备还配备了增强的缺陷标记软件，该软件可以标记和识别晶圆上容易出现缺陷的区域，以帮助指导纠正这些缺陷的行动。除了自动化功能外，NANOMETRICS Atlas还提供了手动调整测量参数的能力，以优化测量结果。该系统允许一系列参数如光斑大小、激光功率、曝光持续时间等进行手动设置，还提供了曲线拟合、统计过程控制（SPC）等高级数据分析和控制功能。总体而言，Atlas是一个强大而全面的晶片测试和计量装置，旨在提供快速和准确的测量，以确保生产优质晶片。这台机器具有多种自动化和手动功能，是任何现代晶圆制造过程中必不可少的工具。
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