二手 NANOMETRICS Atlas #9244875 待售
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NANOMETRICS Atlas是为半导体器件制造商和材料分析实验室开发的线路晶圆测试和计量设备的顶端。Atlas设计用于测量和验证晶圆产品的线几何形状、表面拓扑结构和材料属性。该仪器利用先进的成像技术和扫描电子显微镜（SEM）来生成高精度的三维图像图和其他基于成像的数据形式。NANOMETRICS Atlas能够对各种晶圆产品进行精确的计量和晶圆测试测量。通过捕获晶片特征的详细图像,Atlas可以验证和分析小于50 nm OPC的特征、线宽和间距、Vdd/Vss线光学成像、金属厚度和表面粗糙度。该系统的其他特点是能够测量电阻、电容和介电常数等电性能。NANOMETRICS Atlas能够一次处理多达24个晶圆,任何阵列尺寸可达976 cm2,最小线宽可降至0.2µm。它配备了集成的自动化晶圆映射单元和复杂的缺陷分析软件,以确保最高级别的测量精度和特征检测。机器的用户友好界面也让用户对图像捕捉和样本处理设置有更大的控制。Atlas为高精度晶圆测试和计量提供了一个全面、经济高效的解决方桉。NANOMETRICS Atlas能够捕获各种晶圆产品的详细图像,从而确保对半导体行业的关键应用进行准确可靠的测量。
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