二手 NANOMETRICS Atlas #9249580 待售

NANOMETRICS Atlas
ID: 9249580
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
OCD Metrology system, 12" 2009 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一种自动化的高级晶圆测试和计量设备,用于高精度电气测量。它提供了对电气参数和晶圆表面特性的高度精确的测量。该系统为包括半导体、光伏(PV)和MEMS在内的广泛行业的晶圆提供电气测量和表面分析。该单元设有一个集成的样品管理机器,用于自动处理晶片和样品装卸。它还具有一个可编程温度控制器,可在所有温度范围内进行可靠的测量,温度范围可达1,500 °C。该工具允许进行广泛的电气测量,包括:电阻、电流、电压、电容、电感、电荷和功率。它还具有基于设备特性的自动参数检测和优化功能。该资产还包括用于在制造过程中监测晶圆参数的内置测量事件检测模型。阿特拉斯还具有表面表征能力,如光学显微镜、原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)。Toscanner,一种集成扫描电子显微镜,可用于获取晶圆表面和地下的详细图像。这有助于识别可能对设备性能产生不利影响的污染物、缺陷和其他异常。该设备的设计具有灵活性和准确性。它包括一个全面的控制面板,允许用户为精确测量调整参数和设置。它还具有标准测试和计量应用程序库以及用户可编程应用程序库。这允许用户自定义系统以满足其特定要求。NANOMETRICS Atlas单元设计用于提供对晶圆电性能和表面特性的高度精确的测量。用于半导体、光伏、MEMS等多种行业,用于研究、测试、制造用途。其集成的样品处理机、综合控制面板以及标准和用户可编程应用程序库,使其成为计量和晶圆测试的灵活而有用的工具。
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