二手 NANOMETRICS Atlas #9256431 待售
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NANOMETRICS Atlas是半导体工业使用的最先进的晶圆测试和计量设备，允许对具有220nm以下和高达28 µm特征的结构进行测试和检查。该系统旨在对芯片进行即时重新表征，提供有关设备和工艺性能的精确数据，并了解工艺过程中潜在的物理现象。Atlas将电气测试、计量和成像功能结合到一个自动化、优化的软件包中的单一平台中。其高性能和可靠性使得NANOMETRICS Atlas成为性能临界晶圆测试和计量应用的理想选择。Atlas可以对晶圆样品进行一系列测试，从无损电阻测量到参数化晶圆级测试，从栅极延迟测量到自动离子束铣削。其集成光学显微镜和电荷耦合器件（CCD）相机单元允许对低至22纳米的结构进行高分辨率成像和显微照相，而其高精度晶片级则允许进行可重复和精确的性能测试。集成扫描电子显微镜（SEM）允许进行表面成像、厚度测量和临界尺寸（CD）测量,以及地形和粗糙度测量。SEM可以与光学显微镜结合使用，进行并排成像和配准，从而实现特征和结构的复杂表征。NANOMETRICS Atlas先进的自动化控制软件可在测试和计量过程中进行精确的压力控制和参数优化，而可靠的数据采集则可精确测量设备和电气参数。此外,该机器还具备工业就绪的技术标准,非常适合集成到清洁环境中。总之，Atlas是半导体行业的一个宝贵工具，旨在为一系列晶圆测试和计量应用提供精确和可靠的数据。它具有高精度和无与伦比的性能,确保它仍然是晶圆测试和工艺优化的可靠工具。
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