二手 NANOMETRICS Atlas #9270884 待售

NANOMETRICS Atlas是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体材料和器件的测量和表征。它由一个最先进的软件平台、亚纳米扫描显微镜以及各种精密的测量和表征组件组成。该软件为用户提供了一个易于使用的GUI（图形用户界面）,用于控制系统参数、浏览正在检查的示例、开发工作流和可视化收集的数据。该平台使用户能够以任意分辨率测量从地形到电气属性的任何内容,包括2D和3D。它支持一系列标准分析工具,例如图像处理、线路分析和高级特征识别,使其能够执行各种测量和特征。阿特拉斯使用的显微镜扫描范围高达150毫米，横向分辨率0.11 µm，精度高达8 nm。它采用了获得专利的E-SEM（能量增强扫描电子显微镜）设计，允许用户同时捕捉地形和电气图像。针对高精度扫描和特征识别对显微镜进行了优化.NANOMETRICS Atlas可以表征不同加工阶段的多种材料。它考虑了可能影响结果的各种参数，例如材料的电导率、电容、泄漏电流和其他参数。它还提供了包括光学应力传感器和扫描椭圆偏振探针在内的一整套传感器和探针。所有收集到的测量和特征都存储在单元上，可以以各种格式显示，包括表、图和直方图。此外，机器可以显示更高级的测量，如地形和电气图像，都2D和3D。总体而言，Atlas系统提供了一个易于使用的平台，用于测量和表征不同加工阶段的各种半导体材料。它利用其先进的软件、先进的扫描显微镜以及广泛的传感器和探针，使用户能够收集必要的信息进行进一步的分析。然后可以以清晰的图形格式显示收集的数据,帮助用户深入了解其组件设计。