二手 NANOMETRICS Atlas #9271266 待售

NANOMETRICS Atlas
ID: 9271266
OCD Metrology system, 12" 2008 vintage.
NANOMETRICS Atlas是一种革命性的新型晶圆测试和计量设备,设计用于直接测量半导体晶圆的质量。它允许通过使用独特和创新的高级成像硬件和专有算法阵列自动进行图像采集和分析。该系统旨在快速准确地分析整个晶片表面的晶片材料完整性和晶片均匀性。它利用先进的成像技术和先进的计量技术来捕捉详细的图像和绘制晶片材料的特性,以深入了解晶片质量。Atlas提供自动成像和测量整个晶片表面的缺陷大小、形状、位置和连通性。然后软件处理图像以提取可用于过程控制和过程优化的重要数据。NANOMETRICS Atlas还具有高分辨率的3D线扫描功能,可对晶圆进行详细的测量至0.1µm。这样可以对晶片材料进行更深入的分析和详细的研究。3 D线扫描功能还允许在晶片上映射表面地形和条纹。Atlas单元集成了多种地形技术,并提供先进的数据分析功能,以快速确定晶圆上图桉化层的图样变化。这使工艺工程师能够快速准确地识别和分析半导体元件生产过程中的变化。NANOMETRICS Atlas还提供先进的自动化数据分析功能,使用户能够快速识别和分析晶圆表面的缺陷分布。这提供了有关晶圆质量和生产过程能力的详细见解。总之,Atlas是一种功能强大的先进晶圆测试和计量机器。它提供高级成像、计量和数据分析功能,以进行全面的晶圆质量测试。它旨在通过快速准确的图像分析和缺陷映射提供晶圆质量和生产过程的详细信息。
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