二手 NANOMETRICS Atlas #9271275 待售

NANOMETRICS Atlas是一种用于半导体工业的高精度晶圆测试和计量设备。它旨在提供最高级别的准确性和可重复性,使用户能够测量和控制极为严格的公差特性。Atlas是一个非接触式全场扫描系统，能够测量半导体晶片的临界尺寸以及薄膜厚度和电阻率等其他广域特征。NANOMETRICS Atlas利用了多种测量技术，包括白光干涉测量（WLI）和视频孔径显微镜（VAM）。WLI提供宽视野和亚纳米垂直分辨率的成像,而VAM具有卓越的横向和垂直分辨率,可用于解析小规模特征,如晶体管和束带。这些技术使Atlas能够从最复杂的表面快速获取测量结果。NANOMETRICS Atlas还提供了非接触式和超高分辨率计量的独特组合，即使在最具挑战性的结构上也能测量小至1 μ m的特征。通过支持各种测量配置,该单元可用于测量平面和高度弯曲的曲面,如3D轮廓和曲面粗糙度。此外，Atlas提供8英寸或12英寸晶圆的检查能力以及其标准的10英寸晶圆支持的测量。除了先进的测量功能外,NANOMETRICS Atlas还具有一套强大的技术,可确保测试质量和可重复性。例如,它的自动对齐技术通过在测试之前自动对齐晶片来节省时间。它还有一个用于快速预对准的内置视觉机器，以及一个用于双面测量的全自动样本注册工具。Atlas是精密应用的理想选择，其紧凑的设计和高精度使其适合实验室和生产环境。NANOMETRICS Atlas通过在各种条件下提供可靠、一致的测量，帮助用户保持最高的质量保证标准。