二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT CALIPER Q300 #9384038 待售
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ID: 9384038
晶圆大小: 12"
Overlay measurement system, 12"
Robotic pick and place wafer transport
With (2) FOUPs
X, Y, Z and Theta stage
Programmable bandwidth illumination system
Automated pattern recognition
Vibration isolation table
I300I and GEM/MSEM
Compressed air: 0.1 SCFM at 84 psi
1/4" Push fit
Isolation valve and guage
Process vaccum: 2.1 SCFM at 800 mbar
5/16: Push fit
Power supply: NPS-208, 60 Hz, 3-Phase, 5-Wire.
NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT CALIPER Q300晶圆测试和计量设备是一种经济高效的解决方桉,用于测量晶圆尺寸并提高精度。该系统利用先进的非接触式激光技术来测量晶片，其最大直径测量为300毫米，比传统光学技术大3个数量级。ACCENT CALIPER Q300利用其革命性的Focus Spot Optimization （FSO）专有技术,通过在晶片表面上找到最佳焦点点来测量晶片尺寸。这一发展使得低噪声和漂移的测量精度更高。该单元可以精确识别不同尺寸的晶片，尽管晶片厚度和扭曲角度范围很广。激光操作针对晶片反射率进行了优化，而自适应光学滤除了不希望的反射，从而实现了有效的测量。这台机器的许多用户友好功能之一就是板载分析功能。这允许用户在将数据发送到分析软件之前查看数据。可以使用专门为用户的分析要求设计的预定义程序,例如量规可重复性和可重复性程序。BIO-RAD CALIPER Q300还配备了高效存储数据点的高级数据记录工具。借助内置以太网和,该资产允许用户快速存储和查看数据。NANOMETRICS CALIPER Q300晶圆测试和计量模型具有多种多样的特点,以提高效率.它是一个可靠、经济高效的解决方桉，有望提高准确性和可重复性。该Q300非常适合质量保证应用、半导体和光刻应用以及其他需要高精度晶圆测量的行业。
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