二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT ECV Pro #293744253 待售

NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT ECV Pro设备是一种晶圆测试和计量系统,能够精确测量晶圆。该单元设计用于对晶片进行非接触式、全自动、低成本的扫描，对包括表面粗糙度和薄膜厚度在内的广泛参数进行扫描。ACCENT ECV Pro Machine配备高精度光学传感器，分辨率高达1纳米。这使得它非常适合检查薄膜在晶片上的性能，并提供一致的结果，精度± 1.5%。该工具设计为每天进行一次自动校准，以保持其准确性。它还被设计用于300 mm以下的各种晶圆尺寸,并且由于其高分辨率传感器,可以检测到高达1.2 nm的线宽变化。BIO-RAD ECV Pro包括一个显示程序,用于显示带有警告和错误消息的测量和数据,使技术人员更容易解释读数。它还有一个USB端口可以连接到计算机,用户可以控制资产并分析结果。除了测量晶片的性能外，ECV Pro模型还可用于分析晶片上的薄膜和化合物。这是通过从图书馆光谱数据集合中扫描搜索实现的，并得到一组研究工具的支持。这些工具包括曲线拟合函数、3D模型投影和数据汇总函数。该设备还具有灵活的进料机构，允许高吞吐量和精确的速度/加速度轮廓，以确保精确的测量。因此，对于需要精确和精确晶圆测量的用户来说，它是一个理想的系统。