二手 NANOMETRICS / BIO-RAD / ACCENT ECV Pro #293749105 待售
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NANOMETRICS/BIO-RAD/ACCENT ECV Pro是为半导体制造商设计的先进晶圆测试和计量设备。它能够准确测量整个晶圆周长上的器件参数。该系统利用专门的立体声视觉光学器件和高性能电子器件来检测、收集和分析CD、覆盖和边缘等参数。该设备配置用于300毫米以下的晶圆范围。它还允许安装更大的晶圆配置和其他组件。在其他组件中,机器包括光学显微镜、监测站和控制器。显微镜有一个特殊的相机,变焦系数为3倍,最大分辨率为1微米。监视站由用户可调节的软件驱动显示器供电,允许用户根据自己的喜好自定义显示参数。ACCENT ECV Pro配备了测量边缘拍摄、临界尺寸、覆盖以及整个晶圆周边的缩放的功能。然后,其专门设计的软件对获取的数据点进行全面的参数分析。数据可以以平面文件格式存储。结果还可以以图形和直方图格式以及ASCII格式输出,以便使用第三方软件进行进一步分析。该工具还提供了多个数据输出和分析选项,包括将来自同一晶圆或同一运行的多个运行结果组合起来以创建更全面的模型的功能。此外,BIO-RAD ECV Pro提供多种软件和硬件接口,允许外部数据源与资产之间的无缝连接。最后,该模型采用紧凑的外形尺寸,易于安装和操作。ECV Pro是市场上最可靠、最先进的晶圆测试和计量系统之一。其强大的硬件和软件组合能够精确测量整个晶圆周边的设备参数。此外,其用户友好的软件和硬件接口允许与外部数据源进行无缝集成。因此,NANOMETRICS ECV Pro是半导体制造商寻找准确、无麻烦的晶圆测试和计量解决方桉的理想解决方桉。
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