二手 NANOMETRICS IVS 185 #9018709 待售
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ID: 9018709
Automatic measurement system, 6" - 8"
Resolution: 1um
90wph
Flat Panel Monitor
Integrated Windows server with hard drive ghost
Rack mounted UPS system
Metro Boost real time analysis Software
150X objective
SECS II package
GEM package
V1.810
PC DOS 7.0
ACV (Accuvision) with Netscape, INXS based
CD and overlay measurements in the same recipe
Performs on copper, CMP, STI, and tungsten plug
Structural metrology algorithms CD-Z, CD-Offset, CD-Step, die matrix placement, and adaptive contact
Adaptive algorithms
Automation with <0.1 degree pre-alignment accuracy.
NANOMETRICS IVS 185是一种晶圆测试和计量设备,帮助工程师开发下一代电子元件。此类系统旨在在高科技设备生产中提供更准确、更可重复的读数。它允许测量各种设备参数,例如电气、热和机械性能。在其标准配置中,IVS 185包含几个集成的子系统,包括运动控制级、视频显微镜、计量剖面仪和检查仪器。这包括一个在研究和制造层面上高度敏感和精确的晶圆检验和计量单位。运动控制级是通过控制器件在晶圆上的位置和方向提供稳定测量点的参数化机械定位机。视频显微镜配备了高端聚焦和放大能力,用于精细的数据采集,同时支持明场和暗场成像。计量剖面仪是一种专用的超精密仪器,在其制造的各个阶段从设备捕获表面地形和几何信息。检查仪器包括CCD摄像头和先进功能,用于检测和量化设备中的缺陷,如划痕、表面污染和尺寸差异。NANOMETRICS IVS 185还配备了高质量的材料识别能力。这些功能包括光学发射光谱仪和X射线荧光探测器,能够快速准确地测量化学成分。此外,该工具还提供全面的数据收集和分析,以确保质量,从详细的过程描述到设备性能参数的图形显示。IVS 185是一种多功能晶圆测试和计量资产,用于广泛的晶圆相关研究和工艺应用。与前几代晶圆测试系统相比,它具有显着的优势,包括最佳的准确性、速度和灵活性。NANOMETRICS IVS 185具有广泛的可扩展性和集成选项,彻底改变了工程师设计和开发当今最先进的电子元件的方式。
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