二手 NANOMETRICS LYNX #9203178 待售

ID: 9203178
优质的: 2010
Critical dimension measurement system EFEM With (2) NANOMETRICS Metro Missing parts: Lamp housing Relay lens Nano OCD Loading configuration: (4) Load ports Power rating: 200 VAC~240 VAC, 1 Phase 2010 vintage.
NANOMETRICS LYNX是为半导体工业设计的晶圆测试和计量设备。它具有易于使用的界面,可容纳多达25英寸的基材直径。该系统配备了高区域覆盖率、先进的检测分析、快速的图像处理、特征分析等多种特点。它利用了最先进的相机技术,并允许全标本和部分标本测量,以适应不同的测试要求。该单元使用先进的算法技术,以高精度测量晶圆的小面积。它支持使用先进的缺陷减少技术,如模式匹配和面积平均。利用确定缺陷类型、数量和位置的算法获取和分析图像数据。这使工程师能够在晶圆产量优化过程中做出明智的决策。除了晶圆检验和计量,机器还可以测量薄膜的尺寸和厚度。它使用四通道光谱检测器以及四偏振偏振器来分析薄膜。这可以让使用者辨识薄膜中存在的畸形,并进行薄膜厚度的精确测量。该工具可与各种外围设备集成在一起,以将其能力扩展到材料表征。它可以耦合到X射线衍射/XRD或X射线光电子/XPS资产,用于表面和/或近表面材料分析。它还可以连接到光学/扫描或透射电子显微镜/TEM模型,以进一步深入分析材料样品。最后但并非最不重要的一点是,设备采用模块化构建块进行设计,以便根据客户需求轻松升级和定制系统。因此,该单元具有很高的可扩展性,可以轻松适应不同的产品和过程。总之,LYNX是一种功能强大的晶圆测试和计量机器,能够对半导体基板进行快速、准确和可靠的测试。它利用先进的图像处理、分析和测量技术,适用于各种应用。该工具高度可定制,可以根据用户需求进行定制。
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