二手 NANOMETRICS LYNX #9203706 待售

NANOMETRICS LYNX是一款新颖的晶圆测试和计量设备，旨在实现半导体器件制造行业的先进工艺控制。该系统利用光学计量、接触扫描和电气测量的集成解决方桉，对晶圆特性进行高度精确的评估。LYNX旨在以经济高效的方式支持晶圆测试、过程监控和计量,目的是提供更高的过程产量和提高设备性能。NANOMETRICS LYNX的设计使用集成的计量平台和一系列工具,为光学计量、接触扫描和电气测量提供优化的解决方桉。此单元测量各种设备参数,例如设备高度、表面粗糙度、迭加精度和电气性能。通过光学和电气检测相结合，LYNX能够测量薄膜测量的选择性层的性能。它还可以评估临界界面层、直接横向特征和测量的电气特性。此外,NANOMETRICS LYNX还具有用于自动映射和分析关键组件的高级图像处理软件。该软件用于分析设备的横向特征，量化形状和大小，并检测诸如划痕、凹坑和人工制品等缺陷。此外,其接触扫描功能（CD-SEM和AFM）还执行组件对齐、迭加测量和背面分析,以提高产量。机器提供3D图像中多层的可视化,以帮助检测缺陷。LYNX运行在最新的硬件和软件平台上,以简化维护并增强性能。该工具旨在满足大批量生产的严格需求，可与其他工艺工具集成。此外,还可以根据特定应用程序的具体需求对资产进行定制,并提供多种定制选项。最后,NANOMETRICS LYNX为晶圆测试和计量提供了一个功能强大的集成解决方桉,能够提供准确、可靠和经济高效的结果。LYNX凭借其先进的成像功能,可以满足流程控制和产量改进方面的各种要求。