二手 NIHON BIONICS SWB-156RL #9148766 待售

NIHON BIONICS SWB-156RL
ID: 9148766
Resistivity measurement system Device specification: Target crystalline solar cell Si wafer Type: Single crystal Size: 156 mm Resistance: 0.3 [ohm-cm] Repeatability: 2% Lifetime: 0.1 μs Repeatability: 3% Tact time: 3 Sec / Piece Usage environment Ambient temperature: 23 °C ± 2 °C Ambient humidity: 50 ± 10% Utility: Fixed voltage: 3 Ph, AC 200 V ± 10%, 26 A, compressed air Pressure: 0.5MPa 30L / min Access to diameter: φ 10 mm Number of connections: 1 Line general exhaust.
NIHON BIONICS SWB-156RL是一种先进的晶圆测试和计量设备,为关键晶圆测量提供高精度和重复性。其能力涵盖了现代半导体电路开发中使用的大部分测试和计量技术,包括电容电压(CV)测试、电阻率测试、光学显微镜和电性能测量。SWB-156RL配有高分辨率光学显微镜和3D表面成像系统,能够在不同光照下对晶圆表面进行详细检查。它还配备了两个不同角度的正面晶圆探头,为不同特征大小的大小几何形状提供精确的测量。该单元还配备了计算机控制的XY级,允许同时测量多个目标。对样本图像采用数字图像处理算法,测量形状、大小、面积、周长等不同参数,确保测试结果的准确量化。此外,NIHON BIONICS SWB-156RL提供了广泛的晶圆电测试能力,如驱动和传感测量、电容电压测试、集成电路温度测试和直流再生长测试。该机还提供了接触电阻测试和接触电阻图、介电常数测试和偏移电压测试的测试能力。其先进的接触引擎能够精确测量接触电阻,为设备接触和互连提供准确的评估。在精度和可重复性方面,该工具提供了0.2%的简历测量精度和0.1V感测灵敏度。它消除了对手动对准的依赖以及探针之间繁琐的切换,从而能够在技术人员参与最少的情况下对多种类型的设备进行高效测试。SWB-156RL的其他功能包括自动缩放测量功能、探测器偏移的自动识别和校正,以及具有用户友好界面、数据收集和分析功能的集成软件包。为了方便起见,该资产配备了一个通用电源,以便可以从任何电压源(AC/DC)进行电子操作。总体而言,NIHON BIONICS SWB-156RL是一个独特而强大的晶圆测试和计量模型,为关键晶圆测试提供高精度和重复性测量。它是半导体电路开发的宝贵工具,使工程师能够实现可靠的大容量测试,并改进他们的设计和制造过程。
还没有评论