二手 NIKON AM-601D #293645645 待售

ID: 293645645
Reticle inspection system.
NIKON AM-601D是一种先进的晶圆测试和计量设备,主要用于测量材料的纳米表面地形特性。它由一个多轴集成定位系统、一个包含光学元件的物镜组件、一个检测器和必要的电子设备组成,以检测来自检测器的信号。此单元能够获取x、y和z轴中曲面的高分辨率3D映射图像。多轴定位机装有安装在倒置Y双级基座结构上的高直立空气轴承。为了达到较高的精度,采用了最大准直度的空气轴承,以减少任何可能的误差。此定位工具可与工件拖拉机或龙门配对,以实现更大范围的运动。目标组件的构建是为了确保尽可能高的分辨率。这是通过使用NIKON专有的高数值孔径物镜与磁屏蔽光学臂集成实现的。这样可以确保稳定的光学平台具有高精度,同时保持干净且无色散的光路。该探测器是一种坚固、无损的CCD探测器。CCD探测器安装在温度和振动向下转换的环境中,为成像表面提供稳定性。CCD探测器安装在非常接近物镜的地方,确保高信噪比。NIKON AM 601D资产是一种非常先进的晶圆测试和计量模型。它旨在提供最高精度、准确性和可重复性,使其非常适合广泛的纳米表面地形测量应用。该设备能够产生高达2 μ m的高分辨率表面图像,并具有亚纳米可重复性。它提供高达80 μ米/秒的扫描速度,具有快速的测量和较短的扫描时间。该系统适用于金属、半导体、玻璃和塑料等多种材料。AM-601D是光学计量领域研发应用的理想选择。
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