二手 NIKON AM-601D #9224306 待售

ID: 9224306
Reticle inspection system.
NIKON AM-601D是一种自动化晶片测试和计量设备,旨在以最小的操作员干预度对扁平晶片和图桉化晶片进行精确和可重复的测量。该系统能够测量直径达6英寸的晶片,并利用扫描电子显微镜(SEM)提供晶片表面的高分辨率图像。综合测量单元由多个模块组成,包括一个舞台和舞台运动模块、检查软件模块、样品持有人检测模块、分析软件模块、网页界面模块。舞台和舞台运动模块控制晶片的运动,进行精确定位和扫描。然后,检查软件模块使用可选的编辑功能来测量晶圆曲面和数据处理。样品持有者检测模块使样品的自动加载和检测成为可能。分析软件模块显示图像和3D树形图,并提供诸如故障位置、粗糙度、地形和层厚度等晶圆级见解。web界面模块还为机器的管理提供了直观的控制界面。NIKON AM 601D提供了一整套晶片测试和计量功能,包括精密压力传感器、激光干涉仪、手动取样器以及用于测试晶片平坦度和表面粗糙度的其他组件。此外,该工具还提供了用于执行各种特定于应用程序的测试的可追踪性和自定义功能。资产的其他特点包括多任务处理能力、灵活的自动化和精确的对齐精度。总体而言,AM-601D是一个可靠的高分辨率晶圆测试和计量模型,非常适合执行一系列晶圆测试和测量任务。它提供了多种功能和工具,使用户能够快速准确地测量用于各种应用程序的平面晶片和阵列晶片。
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