二手 NOVA i550 #9356921 待售

NOVA i550是SPTS/Oxford Instruments最先进的晶圆测试和计量产品。该设备专为半导体行业先进的晶圆级测试、检验和计量而设计。它为优化晶片的产量和性能提供了一系列工具和能力。该系统配备了一个150毫米交互式多级接口站，提供自动和直观加载晶片，采用手动或全自动测试策略。它可以容纳多达150毫米的基板，并可以选择在未来使其适应200毫米。该单元根据客户特定应用程序的要求量身定制,具有一系列测试配置,如射频探针、温度和湿度传感器以及一系列光学探针。它还配备了先进的光学计量工具，如3 D光学相干显微镜（OCM）和光致发光（PL），以及一系列用于先进设备结构的光刻和蚀刻解决方桉。这使得晶片的精确缺陷可视化、测量和表征达到亚微米级。I550的其他功能包括一套全面的晶圆测试工具软件,它可以实现快速的数据采集速率和数据处理,从而能够快速轻松地识别晶圆上的过程和缺陷相关区域。然后,可以根据需要使用此数据来调整流程。该机还支持自动测试调度和连续运行的直观界面，使其能够无缝融入任何生产线。此外,NOVA i 550还提供了先进的计量功能,能够快速、可靠地分析难以测量的小型结构。结合生产就绪设计、先进的测试和计量工具、直观的用户界面和各种各样的测试参数，使得i550成为先进晶圆制造工艺和半导体研究的理想选择。