二手 NOVA NovaScan 210 #9282462 待售

ID: 9282462
晶圆大小: 8"
Film measurement system, 8" P/N: 210-8-034 Wafer handler included.
NOVA NovaScan 210是一款具有领先技术的先进晶圆测试和计量设备。它由基站、高分辨率摄像头以及支持硬件和软件包组成。该系统允许对晶圆结构和组件进行系统化测试,并具有直观的图形用户界面(GUI)来控制和监控设备的运行。它提供各种设置和高级功能,例如自动晶片加载和对齐。图像信号只用一个参考帧和可定制的设置进行处理,以进行精确的晶圆测试。NovaScan 210的精确光学测量和先进的计量机使纳米分辨率水平能够进行严格的晶圆测试。该工具的孔径最大可达10毫米,光斑最大可达0.25 μ米,提供前所未有的精度和质量控制。高效的照明设备有助于通过基于LED的冷光棒和DLED平面场照明器对样品进行均匀照明。照明是可控的,可根据需要调整从广域到高分辨率图像的轮廓。其基于GUI的应用允许可视化地形数据,以便对样品进行轴向和横向扫描以进行缺陷检查。此外,它以自动化的方式促进晶圆映射和对齐,没有人工干预。设备的集成可追踪性模型允许对样品晶片或垫片进行完全控制跟踪。该系统提供了广泛的样品处理选项,用于晶片垫或板载。其先进的晶圆移动器采用先进的机器人技术自动移动晶圆。NOVA NovaScan 210配备了软件控制的XYZ表,用于扫描和定位灵活性。该装置经过认证,可用于恶劣的工业环境,并装有防静电保护机器,以防止静电放电。它是提供精确、高度精确的晶圆测试和计量服务的理想解决方桉。
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