二手 NOVA NovaScan 3060 #293655413 待售

ID: 293655413
CD Measurement system.
NOVA NovaScan 3060是为高端技术节点设计的先进晶圆测试和计量设备。为半导体生产提供全面的晶圆计量和缺陷检测解决方桉。该系统的扫描技术结合了光学性能和稳定性,确保晶圆计量和缺陷检测操作的最高精度。该单元配备了自适应聚焦机制和增强电流成像(ECI)技术,提供卓越的图像对比度和分辨率。此外,该机器还提供三种高速扫描技术:标准扫描、突发扫描和滑动扫描模式。NovaScan 3060利用具有长工作距离的光学显微镜进行优化以适合任何应用。它还具有集成的晶圆处理工具,可自动处理直径不超过12英寸的晶圆。该资产还配备了高密度偏振滤波器,以确保高分辨率成像的精确偏振轮廓。NOVA NovaScan 3060能够在亚微米级捕获测试结构和缺陷的图像,并提供探测器的精确定位。它包括一个多光谱、多角度的计量模型和易于使用、可定制的软件,允许用户快速获取成像和计量数据。该设备还具有高达每小时200晶圆的高吞吐量和± 2 μ米的总精度。NovaScan 3060配备了多种图像增强算法,如锐化、暗场、对比度和色彩饱和度调整工具。此外,系统允许用户以多种分辨率存储晶片图像,以最适合应用程序并检查晶片,而无需重新扫描。总体而言,NOVA NovaScan 3060是一个先进的晶圆测试和计量设备,它结合了成像功能和直观的用户友好软件,提供卓越的成像性能、准确性和工作效率。
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