二手 NOVA NovaScan 3090 FI SB #9276192 待售

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ID: 9276192
Film measurement system P/N: 390-00000-10 With EBARA CMP Integration metrology critical dimension EBARA REX300 CMP Tool Voltage: 115 V, 230 VAC.
NOVA NovaScan 3090 FI SB是一种晶圆测试和计量设备,设计用于多种工业和科学应用。该系统采用先进的晶圆测试和计量技术,能够精确测量半导体晶圆上的电气和物理特性。凭借其高分辨率、高速成像能力,该单元能够测量各种表面粗糙度、蚀刻率、均匀度、极化、隔离等参数。NovaScan 3090 FI SB允许改进对半导体晶片的分析,包括识别和隔离缺陷区域的能力。它能用其高分辨率、高速成像机进行表面分析,可用于测量一系列电气、表面和结构特性。此外,该工具还配备了多种功能,以帮助描述特征,包括能够自动识别材料缺陷和需要进一步调查的区域。资产包括各种软件支持,以提供模型与其用户之间的无缝集成。其用户友好的界面可以方便地导航设备的功能,使操作员能够快速识别感兴趣的区域。软件还包括多种分析工具,如光学临界尺寸(OCD)分析、CD-SEM(临界尺寸扫描电子显微镜)剖面、自动二次电子CD-SEM剖面。该系统采用了一系列先进技术,包括自动化数据采集单元和高速成像机。这允许对各种参数进行精确的测量和分析。各种图像捕捉选项允许工具捕获分辨率高达10,000像素的图像,可以提供有关晶圆表面的详细信息。资产还包括一个离子束模型,以提供对掺杂剂浓度的精确测量,而机器人平台则允许自动化的样品加载和测量。总体而言,NOVA NovaScan 3090 FI SB是一款功能强大且用途广泛的晶圆测试和计量设备,专为各种工业和科学应用而设计。其先进的成像功能、自动化的数据采集系统和一系列软件支持使其成为识别缺陷区域和测量电气、表面和结构特性的宝贵工具。
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