二手 NOVA NovaScan 3090 Next SA #293638911 待售
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NOVA NovaScan 3090 Next SA是来自NOVA Technologies的晶圆测试和计量设备。该系统旨在提供高效、准确的半导体晶片测试,具有执行多种技术的能力。它提供了同时测试单个晶片的不同区域以及全晶片或模具级测试的能力。NOVA NovaScan 3090结合了硬件和软件,能够测量晶圆级参数,如薄片电阻和掺杂浓度。它还为电子和空穴的迁移率、局部界面状态以及其他特定参数提供了集成的测量功能。此外,该单元还提供直接成像和全场无源电容测量。机器是模块化的,具有根据每个用户的具体计量要求进行配置的灵活性。它支持多种工作站类型,包括一个自动化的prober,并且可以用不同的硬件选项进行升级。此外,还可以使用扩展其CMP、阵列和设备特性识别功能的专用软件对工具进行升级。NOVA NovaScan 3090具有提供晶圆特性最精确测量的全晶圆映射功能。它还具有三个层次的图像优化,能够更好地分析晶圆的地形。最后,一个MultiStation工艺室提供多达5个基于氨的计量后工艺,允许用户在同一资产中执行多个清洁操作和退火工艺。NOVA NovaScan 3090是一款更新、先进的型号,提供稳健、可靠、准确的计量解决方桉,以满足半导体制造商和研究中心的苛刻要求。该设备非常适合常规和专业计量应用,为用户提供了快速、准确地测量和分析晶片和设备特性所需的工具。
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