二手 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9195941 待售
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已售出
ID: 9195941
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Critical dimension measurement system, 12"
Includes:
(3) Load ports
Interpretation computer (Mini IPC) kit
2012 vintage.
NOVA NovaScan 3090 Next SA是一种晶圆测试和计量设备,其设计目的是以传统系统成本的一小部分提供生产级精度。它具有完全集成的软件/硬件体系结构和用于快速扫描介电膜和有机膜的数字图像处理器。该系统配备了先进的3级光学单元,以广泛的晶圆材料实现高精度和可重复性。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA是一种多功能机器,可用于光学检验、金属氧化物半导体(MOS)晶体管等动力元件测试、光刻图样、化学机械抛光(CMP)等相关晶圆计量任务。它使用数字自动对焦工具、8英寸图像镜和可变波长激光照明器,以获得最佳精度和精度。激光照明器是可调的,以最小的图像噪声提供反射率或透射光照。NovaScan 3090 Next SA具有模块化设计,可针对模具级检查和薄膜厚度测量等多种计量应用进行定制。它配有单镜头储藏室、60倍电动对焦显微镜、35mm数码成像相机和光谱反射仪。资产可以通过额外的附件进行扩展,如CCD成像模型、光谱仪、计算机极化显微镜和可选的多光谱成像设备。NOVASCAN 3090 NEXTSA还具有通过多种操作模式,包括透射式、一维反射式检查(RI)和非接触式表面二维(level)检查,以其对表面非均匀性的高敏感性检测非均匀性、缺陷和其他材料不均匀性的能力。它与广泛的基材兼容,包括硅、石英、多晶硅、蓝宝石、硅、玻璃、陶瓷。该系统还具有内置的安全功能,包括在停电时自动关闭系统,以及允许操作员校准机器以获得最佳性能的自校准单元。NOVA NovaScan 3090 Next SA提供了一个全自动的工具,具有用户友好的界面,能够更快地测试和测量结果。集成的拾取和放置资产简化了流程,而完全集成的计算机控制模型允许轻松进行数据分析,而无需额外的硬件或软件。该设备由6.8安培步进电机提供动力,并通过多种材料和基板提供卓越的精度和可重复性。
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