二手 NOVA NovaScan 3090 Next SA #9233450 待售

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NOVA NovaScan 3090 Next SA
已售出
ID: 9233450
Critical dimension measurement systems BROOKS AUTOMATION 152465 Atmospheric wafer handling robot BROOKS AUTOMATION 109752-452 FabExpress BROOKS AUTOMATION 146847 Robot controller BROOKS AUTOMATION 002-8761-01.
NOVA NovaScan 3090 Next SA是一款功能强大的晶圆测试和计量工具,专为下一代半导体晶圆制造的苛刻工艺控制要求而设计。设备配备了功能齐全的软件平台,提供卓越的精度和可重复性,确保从晶圆开始到晶圆完成的过程控制一致。NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA使用功能强大的激光扫描仪进行自上而下和自下而上的检查。这有助于以最短的时间和最低的成本输入快速识别晶圆上的潜在缺陷。这种基于激光的检测确保在检查过程中可以检测到甚至更小的缺陷颗粒,这有助于减少与潜在晶圆制造缺陷相关的屈服损失。NovaScan 3090 Next SA还支持扫描各种不同的晶圆大小和形状,包括200 mm、300 mm、500 mm和更大。系统可以编程为自动检测晶圆大小和形状,然后扫描表面积或感兴趣的区域。这有助于确保彻底检查晶片的所有区域是否存在潜在缺陷。NOVASCAN 3090 NEXTSA使用的软件平台支持广泛的计量应用,包括缺陷和污染检测、缺陷严重程度分级、线宽测量、迭加测量和临界尺寸(CD)测量。该软件能够收集、分析和存储来自多个晶圆检验运行的数据,以保证质量。NOVA NovaScan 3090 Next SA还可以配备为精确CD测量而设计的高精度光学显微镜。这有助于确保设备能够以极高的精度测量到亚微米级别的特性。在物理设计方面,NOVA NOVASCAN 3090 NEXTSA也是紧凑、高效和符合人体工程学的。该单元占用的地板空间极小,设计得尽可能人性化,使操作员能够快速准确地执行各种测试和计量任务。总体而言,NovaScan 3090 Next SA是一种先进的晶圆测试和计量设备,可提供可靠的过程控制,帮助确保生产质量最高的半导体产品。该设备提供强大的激光扫描功能、通用的软件平台以及用于CD测量的高精度光学显微镜,使其能够精确检测甚至最小的潜在缺陷。机器的人体工程学设计和高效的平面图还有助于在晶圆检测过程中最大限度地提高生产率。
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