二手 NOVA NovaScan 3090 #293820380 待售

ID: 293820380
晶圆大小: 12"
Film measurement system, 12" P/N: 390-10000-11.
NOVA NovaScan 3090是最先进的扫描和计量设备,适用于先进的晶圆测试和计量。该系统具有真正的3维功能。它能够测量4英寸和6英寸晶片以及10英寸甚至15英寸晶片。它带有内置控制器,能够从主机执行命令。该单位由若干组成部分组成。它具有高动态范围的光机设计和稳定的光束光斑尺寸,可确保一致的结果。该机还包括具有平衡扭矩臂的高精度步进电机,用于精确的光掩模对准和探头级的精细定位。此外,激光光束对准保证了高精度和测量重复性.该工具使用高级光学器件来测量各种参数。它能够进行高分辨率的一维、二维、三维甚至4维测量,包括高精度厚度和跨模具厚度。它还提供了先进的自动对焦和边缘查找器功能,以帮助提高准确性。资产由强大的软件提供支持,该软件密切监视模型以保证结果。它能够执行许多参数测量,并可以将它们与参考值进行比较,以确保具有可重复性的最高精度。它还具有强大的用户界面来简化数据收集和分析。NovaScan 3090非常适合执行许多高精度任务。它可用于快速准确地测量蚀刻深度、平坦度、临界尺寸、薄膜厚度、边缘轮廓、金属线宽度和临界尺寸,以及执行基于成像的测量。此外,它还能够对晶片进行粒子分析、侧壁角度测量和覆盖补偿。最后,来自NOVA的NOVA NovaScan 3090是晶圆测试和计量的先进扫描和计量设备。它具有强大的软件包和易于使用的用户界面,使其成为高精度任务的可靠选择。它的特点使得它非常适合各种任务,并且可以在广泛的行业中使用。
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