二手 NOVA NovaScan 3090 #293823988 待售

NOVA NovaScan 3090是NOVA科技公司的晶圆测试和计量设备。该系统设计用于在MEMS和光子晶片的测试中提供精确的测量。它采用自对准光学干涉剖面仪，提供高达0.1 nm的高功率分辨率。NovaScan 3090有一个大型的自动化晶片级，带有两个螺丝式测试装载机，使其能够处理各种测试晶片尺寸的单极和多极配置。该单元可容纳200 µm至5 mm的晶片厚度，最大晶片直径300 mm。舞台有360度旋转，允许从任何角度精确测量测试样品。NOVA NovaScan 3090还内置了RGB激光干涉测量机，将激光干涉测量的精度与CCD成像的保真度相结合。这样可以从各种不同角度捕获各种材料中的精确图像。该工具可以捕获步高的亚纳米差异，以及表面纹理、地形和微观特征。此外，NovaScan 3090拥有一个集成的数字显微镜，它获取晶圆精确区域和特征的专门图像。此功能允许精确测量晶圆上的距离以及3D中的纳米尺度特征。显微镜还配备了用于锐化和缝合图像的先进软件，以获得最佳分辨率、细节和准确性。NOVA NovaScan 3090还包括几项软件功能,可实现自动化操作和增强使用。该资产配备了实时显微镜,可以通过快速反馈进行实时分析和决策,而动态视觉检查功能则可以快速、准确和自动化地确认高分辨率图像。该软件还可以自动检测和报告材料晶片中的任何异常，使其成为一个成本效益高且可靠的计量模型。