二手 NOVA NovaScan 420 #9077702 待售

ID: 9077702
Measurement System.
NOVA NovaScan 420是一个用于测试和分析半导体晶圆的计量系统。利用先进的光学干涉仪,获得了无与伦比的重复性和准确性的高精度测量。NovaScan 420有两个不同的部件-光学干涉仪模块和专用对准站。光学干涉仪模块包括光电元件平台、光路框架、照明工具、自动减法和光学轮廓仪元件。对齐站是晶片安装和测量的地方。该站还用于校准系统,并在高精度范围内保持对准精度。NOVA NovaScan 420的光学干涉仪与晶圆映射的精确自动化级集成在一起,允许用户快速准确地测量任何晶圆表面的地形。它还包括一套软件工具,允许用户进行各种测量,包括表面粗糙度、磁盘深度、导槽、拐角结构和步高。此外,NovaScan 420包含软件控制的显微镜和图像分析工具,用于电子故障分析。这使用户能够快速准确地查找和表征产量和阵列参与者,或识别晶圆表面上的缺陷区域。集成到NOVA NovaScan 420中的一整套测量工具提供了精确的计量功能,用于监控各种产品的性能,从有源元件到玻璃基板。它支持各种晶圆尺寸(最大12英寸),最多可容纳24个晶圆载流子。总而言之,NovaScan 420是一种先进的晶圆测试和计量解决方桉,可用于多种应用。光学干涉仪和自动级可以快速、准确地进行高精度测量,而图像分析功能可以访问有价值的半导体信息。所有这些功能使NOVA NovaScan 420成为当今现代半导体行业的理想解决方桉。
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