二手 NOVA V2600 #9397357 待售

NOVA V2600是一种高端晶圆测试和计量设备，设计用于先进的半导体制造和制造分布线路。它能够执行扫描电气测试、光学测试、缺陷掩蔽和检查、模具剪切和封装拉力测试以及光学和粒子表征等所有类型的测试和计量任务。该系统由两个模块组成-光学和电气测试站（Otical and Electrical Test Station, OETS）和计量站（MS）。OETS由一个模块化的光学和电气测试站组成，它使用自动机械臂进行晶圆级测试操作。该单元同时支持2D和3D计量和电气测量，可用于快速准确地测量掺杂剂浓度、缺陷和杂质密度、器件产量以及其他关键工艺相关参数等参数。计量站设有扫描电子显微镜（SEMs）、原子力显微镜（AFMs）、共聚焦激光显微镜（CLMs）等一系列计量和成像仪器。它还包含了傅立叶变换红外光谱仪（FTIRs）、X射线光电子光谱仪（XPSs）、拉曼光谱仪等多种光谱仪器。这些仪器用于测量晶圆级计量和成像参数，包括蚀刻深度、密度、地形、界面角度、表面粗糙度和其他关键过程变量。V2600包括一系列自动功能,例如自动数据采集和分析,使用户能够快速准确地分析数据。该机器能够与其他软件（如Statistical Process Control （SPC）软件包和其他计算机辅助设计和制造（CAD/CAM）软件）集成。通过其先进的数据分析和报告能力，它为流程改进和优化提供了先进的决策支持。在安全性方面，该工具设计符合半导体行业的安全标准，多层安全检测包括附加联锁和经过验证的内置安全功能。这些功能确保资产在危险环境下不会被激活，并且可以在生产环境中安全操作。总体而言,NOVA V2600是一种功能强大且可靠的晶圆测试和计量模型,它为先进的半导体制造提供了全面的解决方桉。它的高级系统和功能使用户能够快速准确地分析数据、识别缺陷、优化流程和提高质量。此外，它的安全特性确保它能够以安全和有效的方式使用。