二手 NOVASCAN 210 #9224124 待售

NOVASCAN 210是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆样品的高精度表面分析、缺陷检测和尺寸测量。本文介绍了激光扫描显微镜（LSM）、光子扫描显微镜（PSM）、电子束显微镜（EBM）和原子力显微镜（AFM）等各种传感器的特点。该系统还包含自动缺陷检测（ADD）软件,能够深入描述小缺陷和均匀性测量。具有能量色散X射线（EDX）能力，210可以测量元素组成，对材料中的缺陷或杂质进行化学鉴定。该单元以光学平台为基础，配有大面积数码相机、灵敏光学器件和电动龙门安装机。能够对大型晶片和样品进行超高分辨率成像，NOVASCAN 210还具有集成的样品定位阶段，可以快速准确地调整样品的位置。该机的部件少，工作面积大，对准速度快，现场平整技术都使其成为生产支持的理想选择。软件包还包括高速扫描和可视化、基本模式识别和高级比较工具。总体而言,210是广泛的晶圆测试和计量应用的理想解决方桉,旨在以快速且易于使用的封装提供可靠和准确的测量。它非常适合各种工艺和应用，包括故障分析、工艺监控、晶圆光刻、参数测试、质量控制等。