二手 NOVASCAN 210 #9284368 待售

NOVASCAN 210是一种晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆级测试和检查集成电路。该系统利用聚焦离子束枪绘制每个晶片表面的地形，以确定各个元件的电气和物理特性。该单元由高真空室、计算机机器、离子源、一组透镜、成像工具和光束偏转器组成。真空室采用优质不锈钢制成，旨在为内部结构和部件提供真空环境。计算机资产控制来自仪器的所有组件和记录数据。离子源中含有一个或多个带电粒子，如氙气、氙气或氦气，它们被透镜聚焦并通过光束偏转器定向。成像模型记录晶片上元件的大小和位置，并使用得到的信息来确定晶片上元件的电气和物理特性。该设备有多种应用，包括缺陷部件的识别和定位、故障分析、缺陷分析等。还可用于识别短路路径，诊断和校正栅极氧化物故障，测量介电常数，测量耗尽层和通道电流泄漏。该系统还可用于评估工艺对晶片或元件的影响，如热应力和电应力、介电隔离和静电感应电荷。该单元适用于各种晶片和组件，如GaAs、硅、SiGe和SOI。该机可用于以纳米精度测量元件的纳米级特征和表面地形，从而实现高度控制。该工具还能够以高精度测量范围广泛的电气参数，如阈值电压、接入和开启电压，以及亚微米栅极长度。210是先进的晶圆测试和计量资产,为用户提供了广泛的功能和应用。它是测试和检查集成电路的理想工具,为确定单个组件的电气和物理特性提供了可靠和准确的方法。