二手 NOVASCAN 420 #117521 待售

NOVASCAN 420是一种晶圆测试和计量设备，旨在提供高精度的测量、分析和实时的过程性能。它是衡量和维护关键工艺参数的最有力工具。420配备了多种测试方法，允许准确、及时地检测参数缺陷和其他不规则性，以确保过程优化。该系统由高速激光扫描平台、CCD摄像头、高分辨率光学成像单元、一系列嵌入式滤波器和各种测试算法组成。激光扫描平台具有高精度矢量驱动器，使机器能够精确测量每个晶片的超薄轮廓和曲线。CCD相机捕获每个晶片的实时图像，提供全角度可见性，而无需重新定位相机。光学成像工具以纳米精度提供精确的3D测量，甚至可以精确分析最小的表面特征。嵌入式滤光片提供多波长的光，允许分析各种不同光学性质的材料。NOVASCAN 420的测试算法旨在检测晶圆标称特性的任何可测量的差异。这些算法将实际测量值与一组预先确定的值进行比较,从而提供有关流程性能的实时反馈。还启用了多设备参数监控和全面模式识别等高级解决方桉。该资产还与现有自动化平台轻松集成,以便于集成。总体而言，420是一款功能强大的晶圆测试和计量模型，具有精确的激光扫描、全角度CCD摄像头、高分辨率成像设备和各种测试算法，为用户提供了确保过程优化的精确工具。