二手 NOVASCAN 840 #9229187 待售
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NOVASCAN 840是一种高科技晶圆测试和计量设备,为晶圆测试提供全方位的能力。该系统提供高级计量功能,包括3 D缺陷检测、粒子分析、CMP(化学机械平面化)研究和缺陷评估。840配备数码摄像机和几种光源,非常适合串联晶圆检测。它结合了独特的X、Y、Z级机芯,能够快速准确地扫描晶片。该单元使用最先进的算法来精确地比较晶圆不同部分的形状和大小。NOVASCAN 840也有能力进行缺陷分析。它分析了晶片上可能存在的污染物、划痕和蚀刻图样不规则等缺陷。这一过程可以改进产量控制,并确定需要更多注意的领域。此外,840能够进行晶圆级计量。该机可测量薄于1微米特征、线宽变化、高分辨率轮廓等参数。它还能够检测到不规则的表面和/或过大的厚度变化。NOVASCAN 840还提供了几种类型的视觉反馈。它的图形用户界面提供了一系列查看和分析工具收集的数据的方法。这包括功能映射以及分屏显示模式。840是为满足半导体行业需求而设计的独特产品。特别是它能够精确检测只有3.7 µm大小的粒子。此外,资产的灵敏度足以检测到偏离设计的晶圆地形,只有0.2 µm高。总体而言,NOVASCAN 840是一种功能强大且用途广泛的晶圆测试工具,可用于保持制造过程平稳运行。也可用于发现和分析缺陷,以防止产量损失。凭借先进的计量能力,可以精确测量和可视化各种晶圆零件的形状和尺寸。
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