二手 OAI 311 #9169990 待售

OAI 311是半导体制造商使用的晶圆测试和计量设备。它提供了一套全面的晶圆计量能力，包括监测粒度和组成、缺陷映射、光学检查、污染分析和临界维度（CD）测量。该系统采用能量色散光谱（EDS），能够分析样品的化学成分和粒度。它使用了一种新型的X射线探测器来测量粒子的大小和形状到纳米尺度的分辨率。此外，该单元能够检测、隔离和分析晶片表面的各种可能缺陷，如微裂纹、微粒和预先存在的缺陷。除了EDS之外，机器还利用扫描电子显微镜（SEM）为用户提供晶圆表面特征的可视化，包括布线路径、线宽、陆地拓扑和缺陷位置。SEM还通过电子束穿过样品，允许检测污染物、带电粒子和其他纳米级元素。这些功能得到光学检查工具的补充,该工具捕获晶圆表面的图像并对其进行处理以进行精确测量。资产还包括测量计量功能,它使用户能够以纳米级精度测量晶圆的关键尺寸,如栅极宽度、接触深度和掺杂轮廓。这种详细的分析可以更好地控制晶片加工质量,为客户提供可靠的可靠性和质量保证。综上所述,311提供了一套先进的技术功能,能够以纳米级分辨率分析颗粒组成和临界尺寸测量。其缺陷分析和计量能力使客户对晶圆加工产量的准确性和可靠性充满信心。