二手 ORC MEM-5926 #9017907 待售

ORC MEM-5926
ID: 9017907
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1995
Bump height measurement system, 6"-8" 1995 vintage.
ORC MEM-5926是一种经过测试的计量设备,其设计目的是利用多束激光扫描来精确测量薄膜设备。该系统可以使用多种复杂的金属和介电材料,包括薄膜多层光学涂层。该单元基于双光束干涉测量技术,对衍射光栅、薄膜反射器、分束器、偏振器、防反射涂层等薄膜光学器件进行精确、可重复的测量。机器由光源、扫描单元和电子控制器组成。光源是一种双波长二极管激光器,为薄膜器件提供高度精确和可重复的测量。扫描单元包含两组镜像和一个旋转磁盘。该磁盘用于扫描和测量具有两个独立激光束的薄膜设备。然后用CCD摄像机记录每种激光器的反射,并使用基于软件的图像处理算法进行分析。该控制器对激光源和镜面/磁盘扫描提供准确可靠的控制。它可以在不同灵敏度水平的多种模式下运行,并且可以在二维和三维扫描机制中工作。控制器还可以使用其集成图像采集程序捕获薄膜设备的图像。该工具能够测量精确度± 0.05 nm的薄膜光学元件。它还提供了广泛的工作温度范围,从0°C到55°C,可以承受高达200克/加速度的物理冲击。这些功能使MEM-5926成为各种薄膜设备测试和计量应用程序的通用、高性能和经济高效的选项。
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